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2025灣區半導體產業生態博覽會（以下簡稱“灣芯展”）現場，科創板企業的技術實力直接“C位出圈”。從核心設備、關鍵零部件到先進封裝方案、配套系統，一批“卡脖子”領域的技術突破集中亮相，不僅清晰勾勒出國產半導體設備產業鏈的自主化路徑，更憑著多產品線協同作戰的態勢，讓國產替代不止局限于各環節的“單打獨斗”，而是向著全鏈條貫通的方向扎實邁進。

在設備端協同方面，科創板多款核心設備帶著產業化成果“硬核登場”。拓荊科技展臺前，用于3D存儲芯片制造的晶圓對晶圓混合鍵合設備引得專業觀眾駐足交流，這款設備不僅實現技術落地，更已批量送抵先進存儲、邏輯芯片客戶產線，成為產業化能力的“金名片”。

華海清科展區依舊人頭攢動，展出的多款裝備產品工藝性能優異，能夠滿足先進制程的工藝要求。該公司表示，公司CMP、磨劃裝備等產品已在AI芯片、HBM堆疊封裝、Chiplet異構集成等前沿技術領域實現應用，而通過收購芯崳半導體，全品類大束流離子注入裝備也已實現批量發貨。

中科飛測同樣吸睛無數，公司參展產品聚焦九大系列半導體質量控制設備，覆蓋所有光學類集成電路質量控制設備種類，與國際壟斷巨頭形成全面直接競爭。芯源微與新晉控股股東北方華創則聯手亮出“組合拳”，共設展臺展出12英寸刻蝕機與涂膠顯影設備。

先進封裝與存儲工藝攻堅中，科創板企業同樣是“主力軍”。盛美上海聚焦這一領域展出多款“明星設備”，如全球首創水平式電鍍設備、邊緣刻蝕設備和負壓清洗設備等三款獨創面板級先進封裝產品，有效助推AI芯片封裝從傳統的晶圓級封裝向更高密度、更大尺寸的面板級封裝轉型，為先進封裝國產化筑牢支撐。目前，公司已有許多設備成為中國乃至全球客戶的最佳選擇方案之一，電鍍設備、濕法設備市占率分別排名全球第三、第四，且所有產品都具有自主知識產權。

零部件與配套設備的國產化提速，也少不了科創板企業的“添磚加瓦”。富創精密本次展出了氣體需求一站式解決方案以及國產化率較低的勻氣盤、靜電卡盤等核心產品。據了解，該公司勻氣盤量產規模位列國內前三，性能比肩海外龍頭產品，為設備穩定運行提供核心保障。京儀裝備攜半導體專用溫控設備、半導體專用工藝廢氣處理設備及晶圓傳片設備三款主營設備模型亮相，相關產品已深度嵌入國內主流存儲及邏輯芯片制造產線，成為配套領域國產化的典型代表。

展會現場的這些技術成果，不過是科創板設備企業實力的“冰山一角”。2024年度，科創板設備企業合計出貨量突破1.6萬臺，2025年半年度，相關企業平均研發投入強度達到16.3%，領先板塊及A股中位數水平，截至6月底，累計專利儲備超過4000項。以中微公司為例，作為全球少數具備5nm及更先進工藝刻蝕服務的領軍企業，公司今年9月推出六款具備高技術價值的重磅新品，為其向高端設備平臺化公司的轉型注入了新動力。

業內人士指出，近年來，在國家及產業政策支持下，半導體設備企業實現技術突破、規模交付的腳步加快。其中，科創板企業凝聚成推動產業向前的“集群合力”，多家龍頭通過內生培育與外延式兼并，已顯現出向平臺型企業發展的潛力，扛起半導體國產化的“主力軍”大旗。