光刻機(jī)概念20日盤中震蕩上揚(yáng)，截至發(fā)稿，強(qiáng)力新材20%漲停，晶瑞電材漲近12%，興業(yè)股份連續(xù)兩日漲停，肯特催化亦漲停。

機(jī)構(gòu)表示，光刻機(jī)是晶圓制造最核心設(shè)備之一，技術(shù)難度最高且當(dāng)前國(guó)產(chǎn)化率最低。光學(xué)系統(tǒng)為光刻機(jī)最核心部件。光刻機(jī)光學(xué)部件指直接參與光的傳輸和處理過程的精密零部件。光源及雙工臺(tái)同為光刻機(jī)核心部件，對(duì)光刻機(jī)效率起到重要作用。相關(guān)供應(yīng)鏈企業(yè)努力攻堅(jiān)，國(guó)內(nèi)高端光刻機(jī)突破勢(shì)在必行。

國(guó)金證券指出，自02專項(xiàng)以來，部分光刻機(jī)整機(jī)公司在部分制程上已取得較為顯著的成績(jī)，完成了終端的0到1突破，在低端環(huán)節(jié)后續(xù)有望迎來產(chǎn)業(yè)端放量；在高端整機(jī)環(huán)節(jié)，2024年工信部發(fā)布的《首臺(tái)（套）重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄》中將國(guó)產(chǎn)KrF及ArF光刻機(jī)明確列入，標(biāo)志著我國(guó)在DUV光刻機(jī)領(lǐng)域已取得明確進(jìn)展。