6月30日，中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司（簡稱“中科儀”）的北交所IPO申請獲受理。

本次公司計(jì)劃募資8.25億元，投向干式真空泵產(chǎn)業(yè)化建設(shè)項(xiàng)目、高端半導(dǎo)體設(shè)備擴(kuò)產(chǎn)及研發(fā)中心建設(shè)項(xiàng)目、新一代干式真空泵及大抽速干式螺桿泵研發(fā)項(xiàng)目。

招股書顯示，中科儀主營業(yè)務(wù)為干式真空泵和真空科學(xué)儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售，及相關(guān)技術(shù)服務(wù)。

行業(yè)地位方面，公司是集成電路領(lǐng)域出貨量最大的國產(chǎn)干式真空泵制造企業(yè)，是唯一在集成電路先進(jìn)制程實(shí)現(xiàn)批量應(yīng)用的國產(chǎn)企業(yè)，是唯一在清潔、中等、苛刻工藝均實(shí)現(xiàn)批量應(yīng)用的國產(chǎn)企業(yè)，有效保障了我國集成電路制造設(shè)備關(guān)鍵零部件的自主可控和供應(yīng)鏈安全。截至目前，公司各類干式真空泵的出貨量已累計(jì)超過4萬臺(tái)，其中集成電路領(lǐng)域出貨量超2.5萬臺(tái)。根據(jù)市場預(yù)計(jì)數(shù)據(jù)測算，2024年公司干式真空泵在集成電路領(lǐng)域國內(nèi)市占率約為12.72%，打破歐美及日本企業(yè)在國內(nèi)市場的長期壟斷。

在干式真空泵領(lǐng)域，公司的研發(fā)創(chuàng)新打破歐美及日本企業(yè)的長期壟斷：干式真空泵產(chǎn)品滿足14nm先進(jìn)邏輯芯片以及128層及以上3D NAND等存儲(chǔ)器工藝的生產(chǎn)需要，已在中國各領(lǐng)先晶圓制造企業(yè)實(shí)現(xiàn)大批量應(yīng)用，廣泛支持中芯國際、長江存儲(chǔ)、華虹集團(tuán)、長鑫存儲(chǔ)、華潤微、上海積塔、廣州粵芯等國內(nèi)主流晶圓制造企業(yè)，以及北方華創(chuàng)、拓荊科技、客戶A等國內(nèi)主流半導(dǎo)體設(shè)備廠，并已通過臺(tái)積電、大連Intel、SK海力士的測試驗(yàn)證實(shí)現(xiàn)小批量出貨。除硅基半導(dǎo)體外，公司干式真空泵產(chǎn)品也可廣泛應(yīng)用于碳化硅、砷化鎵等化合物半導(dǎo)體的制備，并已實(shí)現(xiàn)批量交付。

財(cái)務(wù)數(shù)據(jù)顯示，2022年至2024年中科儀實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入分別為6.98億元、8.52億元、10.82億元；對應(yīng)凈利潤分別為4.98元、6億元、1.93億元。

從本次具體募投項(xiàng)目來看，干式真空泵產(chǎn)業(yè)化建設(shè)項(xiàng)目投資總額7億元，擬使用募集資金2.31億元，建設(shè)周期為4年；該項(xiàng)目將提升公司干式真空泵的生產(chǎn)能力，形成年產(chǎn)20040臺(tái)干式真空泵的生產(chǎn)能力；目前，項(xiàng)目已經(jīng)完成土地購置、部分廠房及產(chǎn)線建設(shè)、部分設(shè)備購置。

中科儀認(rèn)為，在集成電路產(chǎn)業(yè)的晶圓制造生產(chǎn)線種類眾多的專用裝備中，70%左右都需要在真空的工藝環(huán)境生產(chǎn)組裝。出于環(huán)保、效率以及真空度的考慮，結(jié)合集成電路對真空系統(tǒng)特有的清潔、無油、耐腐蝕的要求，干式真空泵成為集成電路行業(yè)的首選真空獲得設(shè)備，可以極大的提高產(chǎn)品性能和質(zhì)量。

“因此本項(xiàng)目所生產(chǎn)的干式真空泵設(shè)備將成為公司擴(kuò)大業(yè)務(wù)規(guī)模的重要機(jī)遇，是公司在行業(yè)中保持競爭優(yōu)勢的必然要求。”中科儀在招股書中談到。

本次募投的另一個(gè)項(xiàng)目是建設(shè)高端半導(dǎo)體設(shè)備擴(kuò)產(chǎn)及研發(fā)中心，擬使用募集資金4.74億元。據(jù)介紹，該項(xiàng)目擬建設(shè)高端半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)、研發(fā)及配套設(shè)施，引入自動(dòng)化生產(chǎn)設(shè)備和先進(jìn)的研發(fā)測試儀器，旨在提高公司在高端半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的技術(shù)水平和生產(chǎn)能力。項(xiàng)目所生產(chǎn)的H系列干式真空泵是集成電路設(shè)備中的重要配套設(shè)備之一，廣泛用于刻蝕、PVD、CVD等集成電路制造部分工藝中等。同時(shí)，項(xiàng)目也將擴(kuò)產(chǎn)少量渦旋泵，主要用于科研、工業(yè)、醫(yī)藥等領(lǐng)域。

新一代干式真空泵及大抽速干式螺桿泵研發(fā)項(xiàng)目擬使用募集資金1.21億元，建設(shè)周期為3年。該項(xiàng)目將針對半導(dǎo)體領(lǐng)域研發(fā)超高速節(jié)能泵、超高溫泵等新一代干式真空泵產(chǎn)品，同時(shí)面向泛半導(dǎo)體、工業(yè)真空、儀器制造、科學(xué)研究等市場開發(fā)大抽速干式螺桿真空泵及羅茨螺桿真空泵機(jī)組。