A股半導體清洗設備龍頭盛美上海(688082)日前接受機構調研。公司高管表示，公司的PECVD、Track及爐管設備等產品線均在持續推進研發創新，加強顛覆性技術創新，目前公司訂單能見度已經看到第四季度，并即將排滿，公司也將持續拓展海外市場。

盛美上海產品覆蓋了前道半導體工藝設備，包括清洗設備、半導體電鍍設備、立式爐管系列設備、涂膠顯影Track設備、等離子體增強化學氣相沉積PECVD（等離子體增強化學氣相沉積）設備、無應力拋光設備；以及后道先進封裝工藝設備、硅材料襯底制造工藝設備等。受益于全球半導體行業復蘇，盛美上海2024年實現營業收入56.18億元，歸母凈利潤11.53億元，同比增長26.65%，但盈利增速有所回落；今年一季度，公司實現歸母凈利潤2.46億元，同比增長約2倍。

本次調研中，公司高管介紹，公司LPCVD（低壓力化學氣相沉積）、氧化爐和ALD（原子層沉積）在內的爐管系列設備將在2025年實現顯著放量；另外，電鍍設備增長速度較快，今年基本維持50%的增長，預計明年將保持快速增長的態勢。

據介紹，公司Track設備采用盛美差異化的平臺設計，可以滿足高產出量、低維護成本的需求。未來將持續通過供應鏈渠道優化保障零部件供應的穩定性，不斷深化工藝創新，覆蓋更廣泛的市場需求；同時不斷推進客戶端的產品驗證，提升市場認可度并進一步拓展客戶資源。

在新品研發方面，公司最新研發的用于KrF工藝的300 WPH Track beta樣機預計于2025年6月底進入客戶端驗證；公司自主研發的超臨界CO?干燥清洗設備目前已達到世界領先水平，CO?用量與國外同行設備相比預計可節省50%，可大幅降低客戶的消耗品成本。

在ALD設備方面，公司已經積累了一系列自主研發的具有全球知識產權保護的專利技術，未來能夠在ALD設備均勻性、材質等方面持續作出更多貢獻，以差異化創新工藝持續滿足客戶多樣化需求。

不過，公司高管表示，當前Track設備目前最大的難點是關鍵零部件的采購，因為各設備廠商都有固定的零部件供應商，無法供貨給第二家設備商。在零部件的國產化方面，雖然目前不能完全做到100%的國產化，但是公司相信隨著技術的不斷迭代及優化，未來將會實現零部件國產化率的持續提升。

目前盛美上海和控股股東分別在A股、美股兩地上市。對于未來發展聚焦區域，公司高管表示，公司會發揮這一獨特的雙重資本市場優勢，持續推進技術差異化、產品平臺化、客戶全球化的發展戰略，持續提升產品競爭優勢，并在服務好中國客戶的同時，持續拓展海外市場。目前公司自主研發的差異化核心設備已經獲得多家國際客戶的關注與認可。

對于后續半導體設備領域收并購計劃，公司高管指出，半導體產業發展進程中，設備企業領域的并購整合是行業演進的正常現象，具有自主知識產權差異化產品的標的是公司實施收并購的重要考量標準，后續若有相關事項的計劃或進展，公司將按照相關規定履行信息披露義務。

盛美上海6月7日公告顯示，公司2024年度向特定對象發行A股股票申請收到上交所審核意見通知，尚需獲得證監會同意注冊決定后實施。定增預案顯示，公司計劃募資44.82億元（含本數），投入研發和工藝測試平臺建設項目、高端半導體設備迭代研發項目以及補充流動資金。