渾河之畔，鐵西區(qū)的老廠房曾托起新中國工業(yè)的脊梁，齒輪與軸承的轟鳴聲里，“東方魯爾”的鋼鐵血脈流淌了半個世紀。而今，沈陽這座鐫刻著“共和國長子”榮光的城市，正以精密半導體設(shè)備的嗡鳴續(xù)寫新的傳奇。

在京津冀與長三角的半導體版圖之外，以沈陽為代表的遼寧工業(yè)重鎮(zhèn)用二十年時間破繭成蝶，將老工業(yè)基地的厚重積淀熔鑄成中國半導體設(shè)備國產(chǎn)替代的東北力量。截至2025年5月底，遼寧省上市公司數(shù)量共84家，高新技術(shù)企業(yè)占比過半，以拓荊科技、芯源微、富創(chuàng)精密等為代表的半導體設(shè)備企業(yè)交出了一份嶄新的資本市場“遼寧答卷”。

從薄膜沉積設(shè)備、涂膠顯影設(shè)備到半導體設(shè)備精密零部件，遼寧企業(yè)在一個又一個領(lǐng)域打破海外壟斷，托起國產(chǎn)半導體設(shè)備的脊梁。近日，證券時報、遼寧日報“從資本市場看地方高質(zhì)量發(fā)展”大型融媒報道采訪團走進遼寧沈陽，進行深度調(diào)研。

根植沃土：從鋼鐵轟鳴到“芯片森林”

在沈陽，一條渾河串聯(lián)起了遼寧產(chǎn)業(yè)發(fā)展的脈絡，當北岸鐵西區(qū)的鋼鐵轟鳴聲逐漸遠去，南岸的渾南區(qū)一座座半導體設(shè)備工廠拔地而起。從2019年至今，遼寧在資本市場從無到有跑出了芯源微、神工股份、拓荊科技、富創(chuàng)精密、連城數(shù)控這5家以半導體為主業(yè)的上市公司，半導體設(shè)備產(chǎn)業(yè)集群初現(xiàn)規(guī)模。

不僅勢頭猛，而且后勁足，在半導體設(shè)備領(lǐng)域擁有核心技術(shù)的沈陽新松半導體設(shè)備有限公司（以下簡稱“新松半導體”）、沈陽和研科技股份有限公司（以下簡稱“和研科技”）、中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司（以下簡稱“中科儀”）等優(yōu)秀企業(yè)也在遼寧深深扎根、靜待花開。

沈陽市發(fā)改委相關(guān)負責人在接受證券時報記者采訪時表示，沈陽市集成電路產(chǎn)業(yè)集群重點企業(yè)數(shù)量已達57家，形成了以拓荊科技、芯源微、富創(chuàng)精密、中科儀、和研科技、新松半導體等6家龍頭企業(yè)為主體，N家配套企業(yè)為支撐的“6+N”產(chǎn)業(yè)發(fā)展體系。

“拓荊科技的等離子體增強化學氣相沉積、原子層沉積及應用于三維集成領(lǐng)域的先進鍵合設(shè)備已達到國際先進水平。芯源微的前道涂膠顯影設(shè)備已與光刻機聯(lián)機運行，成為中高端涂膠顯影機國內(nèi)唯一的供應商。富創(chuàng)精密是國內(nèi)精密零部件領(lǐng)軍企業(yè)，也是全球為數(shù)不多的能夠量產(chǎn)應用于7納米工藝制程半導體設(shè)備的精密零部件制造商。”上述負責人表示。

為何遼寧能長出這一片半導體設(shè)備“森林”？答案是：工業(yè)基礎(chǔ)是“土壤”，產(chǎn)業(yè)集聚是“陽光”，而科教基因是“種子”。從工業(yè)基礎(chǔ)來看，遼寧省工業(yè)門類齊全且體系完備，國民經(jīng)濟行業(yè)41個工業(yè)大類，遼寧擁有40個（僅缺其他采礦業(yè)）。

新松半導體總經(jīng)理程龍表示：“沈陽作為‘共和國長子’，制造業(yè)有著得天獨厚的優(yōu)勢，半導體裝備核心零部件的產(chǎn)業(yè)配置完善，在政策引導下形成了集成電路裝備產(chǎn)業(yè)集群。”

沈陽市發(fā)改委相關(guān)負責人稱，早在2004年，沈陽就成立了全國第一個集成電路裝備制造業(yè)產(chǎn)業(yè)基地，2010年該基地被科技部認定為國家集成電路裝備高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化基地。如今沈陽正推進以渾南“北方芯谷”產(chǎn)業(yè)片區(qū)為主的“一主兩翼”產(chǎn)業(yè)空間布局建設(shè)，加快集成電路產(chǎn)業(yè)集聚發(fā)展。

在“遼寧集群”崛起之路上，科研基因起到了關(guān)鍵作用。遼寧科教實力雄厚，全省共有高等院校114所，其中本科高校63所，數(shù)量位居全國第六。2024年，遼寧新增了10家全國重點實驗室，圍繞重點產(chǎn)業(yè)布局了20個重點實驗室群，全省選派超千名科技特派員服務企業(yè)。

遼寧半導體產(chǎn)業(yè)版圖深植“中國科學院基因”，多家龍頭企業(yè)的發(fā)展源頭可追溯至中國科學院科研院所。中國科學院沈陽分院在遼寧有大連化學物理研究所、金屬研究所、沈陽應用生態(tài)研究所、沈陽自動化研究所等4個研究所，以及沈陽計算技術(shù)研究所有限公司、中科儀等2個整體轉(zhuǎn)制公司。其中，在新三板掛牌的中科儀是國內(nèi)唯一實現(xiàn)集成電路領(lǐng)域批量應用的干式真空泵制造企業(yè)。

沈陽自動化研究所的產(chǎn)業(yè)孵化能力尤為突出：其控股的創(chuàng)業(yè)板上市公司機器人（新松機器人）孕育了新松半導體；早年發(fā)起成立的沈陽先進制造技術(shù)產(chǎn)業(yè)有限公司（于2013年退出），現(xiàn)為富創(chuàng)精密的第一大股東；芯源微的創(chuàng)立同樣源自該所，其創(chuàng)始人、榮譽董事長宗潤福，曾擔任自動化研究所的研究員、室主任。

^{新松半導體公司展示的各類機器人產(chǎn)品。 宋春雨/攝}

科教埋下的“種子”，在政策、金融、企業(yè)、市場多方合力下茁壯成長，讓遼寧這片“鋼鐵大地”生長出了覆蓋薄膜沉積設(shè)備、涂膠顯影設(shè)備、真空機械手等全產(chǎn)業(yè)鏈的“半導體設(shè)備森林”。

鍛金礪鋒：用金融力量磨出科技鋒刃

全球產(chǎn)業(yè)爭鋒猶如棋盤對弈，布局遠非一日之功。遼寧半導體設(shè)備企業(yè)從“活下來”到“活得好”，離不開政策和金融力量支撐的“三步棋”。棋盤山所在的渾南區(qū)就是沈陽半導體設(shè)備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展“主陣地”，匯聚了拓荊科技、芯源微、富創(chuàng)精密等核心企業(yè)。

拓荊科技董事長呂光泉表示，在中國半導體設(shè)備“從0到1”的路上，國家科技重大專項功不可沒。拓荊科技、芯源微、富創(chuàng)精密與新松半導體均承擔著國家科技重大專項的部分研發(fā)任務，并從中獲得了重要的資金支持。

^{拓荊科技工作人員開展研發(fā)工作。 受訪公司/供圖}

呂光泉認為，中國的產(chǎn)業(yè)政策在半導體設(shè)備領(lǐng)域起到了實效。“你現(xiàn)在看到的所有第一梯隊的半導體設(shè)備企業(yè)，基本上都承擔過國家科技重大專項，它讓半導體材料和設(shè)備完成了‘從0到1’的跨越，造就了這些企業(yè)的第一代技術(shù)。”呂光泉表示，“而‘從1到10’的路上，國家大基金進來了。”

2014年，國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金一期股份有限公司（即國家大基金一期）成立，近七成資金投入集成電路制造領(lǐng)域。迄今為止，已成立三期國家大基金，總注冊資本超過6400億元。

和研科技總經(jīng)理余胡平表示，2022年12月，和研科技在B+輪融資中獲得了國家大基金二期的投資，為公司發(fā)展“踩了一腳油門”。目前和研科技已成為國產(chǎn)切磨拋裝備的領(lǐng)軍企業(yè)，在劃片機、切割分選機和研磨機等半導體封裝領(lǐng)域關(guān)鍵設(shè)備上逐步打破海外企業(yè)壟斷。

遼寧半導體設(shè)備企業(yè)“從10到100”的路，得益于科創(chuàng)板提供的多項助力。富創(chuàng)精密創(chuàng)始人、董事長鄭廣文說：“科創(chuàng)板實際上救了中國的半導體，它把資金和資源聚集到了半導體企業(yè)身上。”

2019年12月16日，芯源微在科創(chuàng)板上市，成為“遼寧省科創(chuàng)板第一股”，形成了示范效應，帶動了一批真正有技術(shù)、有市場的沈陽半導體設(shè)備企業(yè)赴科創(chuàng)板上市。2022年4月，拓荊科技在科創(chuàng)板上市，同年10月，富創(chuàng)精密登陸科創(chuàng)板。

向科創(chuàng)板的“一躍”，讓遼寧半導體設(shè)備企業(yè)有了充足的資金去擴張產(chǎn)能、研究技術(shù)。同時，科創(chuàng)板的股權(quán)激勵政策也讓半導體設(shè)備企業(yè)能更從容地面對行業(yè)激烈的人才爭奪戰(zhàn)。

宗潤福表示：“芯源微在科創(chuàng)板上市后，科創(chuàng)板的股權(quán)激勵提供了非常好的工具。”據(jù)透露，芯源微核心工程師的股權(quán)激勵收入曾一度達到其年收入的2倍，產(chǎn)生了對人才的“磁吸”效應。

“在科創(chuàng)板上市5年多來，公司的利潤增長了8倍，收入也增長了8倍。無論是IPO的資金還是上市之后的增發(fā)，這些融資擴產(chǎn)都讓公司受益。”宗潤福表示，“如果沒趕上科創(chuàng)板，我們可能也是一家健康的企業(yè)，但很難成為一家騰飛的企業(yè)。”

呂光泉認為，對許多半導體設(shè)備企業(yè)來說，從國家科技重大專項到國家大基金再到科創(chuàng)板上市，這三環(huán)每一環(huán)都不可或缺，有了持續(xù)的資金加持，前期踏踏實實搞研發(fā)、真正有技術(shù)突破的企業(yè)才能實現(xiàn)“從0到100”的騰飛。

改天換地：營商環(huán)境出現(xiàn)質(zhì)變

國家層面的政策如雨露甘霖，潤澤各地，為何是遼寧長出了半導體設(shè)備的“廣闊森林”，逐步發(fā)展成中國半導體設(shè)備“第三極”？遼寧為何能培育出這么一批有活力有沖勁的創(chuàng)新型科技企業(yè)？

這背后，是包括沈陽在內(nèi)的遼寧省多個城市讓營商環(huán)境“改天換地”，樹立了極強的服務企業(yè)的意識。沈陽市發(fā)改委等政府部門以“店小二”式的服務態(tài)度幫企業(yè)排憂解難，樹立了“項目為王、招商為要、落地為大”的服務理念。

沈陽市發(fā)改委相關(guān)負責人舉了這樣一個案例：在拓荊科技半導體先進薄膜設(shè)備產(chǎn)業(yè)化基地項目落地沈陽過程中，曾遇到門前有未被貫通路段等問題。沈陽市發(fā)改委主動傾聽企業(yè)訴求，多次組織召開協(xié)調(diào)會議，最后成功解決了企業(yè)門前路段貫通、開工前期場地平整、項目場地開口、停車位配建等問題，幫助項目順利落地開工。

沈陽市委金融辦則以“全周期護航”的態(tài)度陪伴企業(yè)發(fā)展。沈陽市委金融辦副主任、沈陽市地方金融管理局局長韓賓表示，在前端，市委金融辦建立了“上市快速響應機制”，對企業(yè)改制涉及的土地、稅務等問題適時啟動“上市聯(lián)席會議制度”，實行總對總的協(xié)調(diào)辦理，由市委金融辦對企業(yè)上市前期的訴求協(xié)調(diào)各部門分析、研判、解決。

“在中端，沈陽市委金融辦為企業(yè)協(xié)調(diào)并購貸款、融資擔保等金融服務，邀請交易所專家到企業(yè)實地考察調(diào)研并‘切脈聽診’，為企業(yè)上市創(chuàng)造有利條件、掃清障礙。在后端，市委金融辦設(shè)立了上市服務專班，為企業(yè)配備‘上市服務秘書’，2024年為宏遠股份、東方鈦業(yè)等企業(yè)協(xié)調(diào)解決合規(guī)性審查、國有資產(chǎn)確權(quán)等難題超過十項。”韓賓表示。

“我們就是服務員。”遼寧省地方金融管理局副局長戰(zhàn)巍表示。接受記者采訪時，他才剛從深圳回到沈陽，在深圳舉辦了2025“創(chuàng)投遼寧”發(fā)展大會深圳專場路演活動，拜訪了頭部創(chuàng)投機構(gòu)，希望能吸引深圳投資者投資遼寧企業(yè)、分享遼寧發(fā)展紅利，助力遼寧企業(yè)早日登陸資本市場。目前，遼寧有上市輔導備案企業(yè)近30家。

對上市后備梯隊企業(yè)的“彎腰服務”，讓遼寧在資本市場收獲累累碩果且有“豐收展望”。自2019年以來，遼寧新增境內(nèi)上市公司22家，占到了目前84家上市公司的26.2%。戰(zhàn)巍表示，目前遼寧上市后備庫企業(yè)共470家，其中專精特新、“瞪羚”、高新技術(shù)等科技型企業(yè)近350家。

聚力攻堅：打響創(chuàng)投補強、產(chǎn)業(yè)拓展長期戰(zhàn)役

盡管在資本市場上，遼寧已點燃“芯”星之火，但想讓其成燎原之勢、帶起整個“遼寧板塊”在資本市場上的聲量，仍需在多方面持續(xù)發(fā)力。

其一，需強化創(chuàng)投生態(tài)。與發(fā)達地區(qū)相比，遼寧本土創(chuàng)投力量稍顯薄弱，一定程度上制約了本地半導體企業(yè)的融資能力。外地創(chuàng)投機構(gòu)對遼寧企業(yè)的了解，也很難像本土機構(gòu)一樣深刻，需避免優(yōu)質(zhì)項目因“地域認知差”而錯失發(fā)展機遇。

戰(zhàn)巍表示，遼寧省正積極改善創(chuàng)投發(fā)展生態(tài)，去年成功舉辦首屆遼寧產(chǎn)投融合發(fā)展大會，發(fā)布200個重點新質(zhì)生產(chǎn)力企業(yè)融資項目，釋放融資需求超120億元，吸引全國近百家創(chuàng)投機構(gòu)走進遼寧。遼寧省還推出給予創(chuàng)投機構(gòu)每家每年最高1000萬元財政資金激勵等系列支持措施，相繼吸引22只基金在遼寧省注冊落地，認繳資金70.92億元。遼寧還上線了“創(chuàng)投遼寧”股權(quán)投融資服務平臺，累計向千余家次投資機構(gòu)發(fā)布企業(yè)融資需求近300億元，一年來助力20余家企業(yè)獲得股權(quán)融資5.7億元。

戰(zhàn)巍稱，當前遼寧省正大力爭取國家級基金、央企資本及頭部創(chuàng)投機構(gòu)在遼設(shè)立或參股子基金，支持符合條件的創(chuàng)投機構(gòu)發(fā)行科創(chuàng)債以擴充資金池。今年7月初，遼寧即將舉辦2025創(chuàng)投遼寧發(fā)展大會，將邀請創(chuàng)投機構(gòu)深度走訪遼寧，深入了解遼寧豐厚的科教底蘊和“硬科技”本色。

其二，遼寧以重工業(yè)為主，在多個領(lǐng)域“大工廠”的身份強于“大市場”。為了“強鏈、固鏈、延鏈”，沈陽市積極謀劃集成電路設(shè)計、集成電路芯片產(chǎn)線等一批重點項目，填補在產(chǎn)業(yè)鏈上的“空白地帶”。沈陽市發(fā)改委表示，沈陽重點圍繞產(chǎn)業(yè)鏈上下游配套，推進億方聯(lián)創(chuàng)EDA底座與組件研發(fā)推廣中心等一批項目簽約落地，推動天科合達半導體設(shè)備產(chǎn)業(yè)化基地等項目年內(nèi)開工，助力漢京半導體產(chǎn)業(yè)基地等項目竣工投產(chǎn)。

“我們的目標是：將沈陽建設(shè)成為具有國際重要影響力和競爭力的集成電路裝備產(chǎn)業(yè)基地，將集成電路裝備產(chǎn)業(yè)打造成為‘沈陽制造’新名片、新標志。”沈陽市發(fā)改委相關(guān)負責人表示。

在一個又一個戰(zhàn)場，以沈陽為代表的遼寧城市正打響長期的攻堅戰(zhàn)役。在營商環(huán)境上“改天換地”的遼寧，也需將半導體設(shè)備產(chǎn)業(yè)發(fā)展壯大的經(jīng)驗復制到其他產(chǎn)業(yè)。只有在更多產(chǎn)業(yè)上走到全國“新一極”，才能真正在資本市場掀起“遼寧板塊”的燎原之火。

（報道組成員：證券時報記者胡學文、安宇飛，遼寧日報記者孔愛群、張學軍）

校對：冉燕青